Руководство по выбору вакуумного насоса ---
При выборе вакуумного насоса необходимо обратить внимание на следующие вопросы:
1. Рабочее давление вакуумного насоса должно соответствовать требованиям к предельному вакууму и рабочему давлению вакуумного оборудования. Например: для вакуумного нанесения покрытия требуется степень вакуума 110-5 мм рт. ст., а степень вакуума выбранного вакуумного насоса должна быть не менее 510-6 мм рт. ст. Обычно степень вакуума насоса выбирают на половину-один порядок выше степени вакуума вакуумного оборудования.
2. Правильно выберите рабочую точку вакуумного насоса. Каждый тип насоса имеет определенный диапазон рабочего давления, например 10-3~10-7 мм рт.ст. для диффузионного насоса. В таком широком диапазоне давлений скорость откачки насоса меняется в зависимости от давления, а диапазон стабильного рабочего давления составляет 510-4 ~510-6 мм рт. ст. Следовательно, рабочую точку насоса следует выбирать в этом диапазоне, и нельзя допускать, чтобы она работала при температуре ниже 10-8 мм рт. ст. в течение длительного времени. Другой пример: титановый сублимационный насос может работать при 10-2 мм рт. ст., но его рабочее давление должно быть меньше 110-5 мм рт. ст.
3. Вакуумный насос должен иметь возможность сбрасывать весь газ, образующийся в процессе работы вакуумного оборудования, под своим рабочим давлением. 4. Правильно соедините вакуумный насос. Поскольку вакуумные насосы обладают возможностью выборочной откачки, иногда один тип насоса не может удовлетворить требования к откачке, и необходимо объединить несколько насосов, чтобы они дополняли друг друга для удовлетворения требований к откачке. Например, титановый сублимационный насос имеет высокую скорость откачки водорода, но не может перекачивать гелий, в то время как трехполюсный ионный насос для распыления (или диодный ионный насос для асимметричного катода) имеет определенную скорость откачки для аргона. В совокупности вакуумное устройство обеспечит лучшую степень вакуума. Кроме того, некоторые вакуумные насосы не могут работать при атмосферном давлении и требуют предварительного вакуума; некоторые вакуумные насосы имеют давление на выходе ниже атмосферного давления и требуют форвакуумного насоса, поэтому насосы необходимо комбинировать.
5. Требования к загрязнению маслом вакуумного оборудования. Если для оборудования строго требуется безмасляный насос, следует выбрать различные безмасляные насосы, такие как: водокольцевые насосы, адсорбционные насосы с молекулярными ситами, ионные распылительные насосы, криогенные насосы и т. д. Если требования не являются строгими, вы можете выбрать иметь масляный насос и принять некоторые меры по предотвращению загрязнения маслом, такие как установка холодных ловушек, перегородок, маслоуловителей и т. д., чтобы обеспечить требования к чистому вакууму.
6. Понять состав перекачиваемого газа, содержит ли он конденсируемые пары, есть ли твердая пыль, является ли он коррозионным и т. д. При выборе вакуумного насоса необходимо знать состав газа и подобрать соответствующий насос для газа. быть накачанным. Если газ содержит пары, частицы и агрессивные газы, следует рассмотреть возможность установки вспомогательного оборудования, такого как конденсаторы, пылесборники и т. д., на воздухозаборном трубопроводе насоса.
7. Каково воздействие паров масла, выбрасываемых вакуумным насосом, на окружающую среду? Если окружающая среда не допускает загрязнения, вы можете выбрать безмасляный вакуумный насос или сбросить пары масла на улицу.
8. Оказывает ли вибрация, создаваемая вакуумным насосом во время работы, какое-либо влияние на технологический процесс и окружающую среду? Если технологический процесс этого не позволяет, следует выбрать безвибрационный насос или принять антивибрационные меры.
9. Цена, стоимость эксплуатации и обслуживания вакуумных насосов.